这是一个老问题了。从工作机理来说，分子泵对油蒸汽的压缩比很高，即使前级有油蒸汽存在，高真空室通常无法检测到油蒸汽，所以，往往被称为“无油”泵。其实，上述说法只有在分子泵操作步骤合理时才能成立。分子泵处于停止状态，泵的轴承（磁悬浮轴承除外）和前级泵（干式前级泵除外）的润滑油蒸汽可能扩散到高真空室。1）停泵状态：气体的扩散速度与压强平方成反比。停泵状态，只要压强＞50Pa，对大部分用户来说，油蒸汽的扩散可以忽略，可以认为“无油”。2）制动过程：分子泵制动过程中，真空室压强逐渐升高...

1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年上取用帕（Pa）作为单位。1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

前级泵抽速选择排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的zui大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnSg≥PgS或Sg≥Pgs/PnSg－前级泵的有效抽速(l/s)Pn－主泵临界前级压强(zui大排气压强)(l/s)Pg－真空室zui高工作压强(托)S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)

扩散泵抽速计算公式：S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)n－滴管内油柱上升格数(格)t－油柱上升n格所需要的时间(秒)P－在泵口附近测得的压强(托)K－滴管系数(托·升/秒)K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升)L－滴管刻度部分的长度(mm)n－滴管刻度部分的格数(格)Υ0－油的比重(克/厘米3)Υm－汞的比重(克/厘米3)Pa－当地大气压强(托)△Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容...

INFICON电容薄膜规的特点：1、以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成2、在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量3、快速的预热和恢复时间,提高生产率4、的长期稳定性,再现性和重复性5、由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性6、对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定7、快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态8、一键按钮:调零功能和设点调整9、抗腐蚀超纯陶瓷传感器10、能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹...

真空系统常用名称(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处...

加热型薄膜规压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系,通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度1、零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）2、更高的精度3、环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响4、比工艺更快的预热启动时间’5、快速恢复时间大气压6、任意安装角度7、抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

电容薄膜规要求高的应用条件下，而快速的压强测量1、用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1...

INFICON皮拉尼真空计应用行业1.各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业2.各种中低真空测量，如照明，冶金3.真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG1004.PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR2165.PCG400PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已经停产)与PSG500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用6.PS...

皮拉尼真空计具体型号lPSG050/051lPSG100-SPSG101-SlPSG500/500-SPSG502l皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起2.两种原理的规管全过程都工作3.100mbar—1000mbar使用薄膜规信号4.1mbar–100mbar两规信号同时采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃

INFICON石英监控器晶体用于真空应用的石英监控器晶体石英晶体是QCM系统中的速率和厚度传感元件。这些晶体用于所有标准INFICON监控器或控制器以及INFICON（或其他制造商的）单、双或多晶体传感器的真空应用。INFICON推出各种晶体和包装，可随时为您提供所需的晶体。标准AT切割的1in.(25.4mm)直径晶体主要用于INFICONRQCM（石英晶体微天平研究系统）和PLO-10i系统的研究应用。这些研究晶体设计用在INFICON牢固且使用方便的晶体支架上，对沉积薄...

INFICON电容薄膜规CDG025D/045D/100D可以*替代美国MKS电容薄膜规622A/626A/627D/628D，例如：622A11TDE,626A11TDE,626B13TDE,626B01TDE,627D01TDC1B