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INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stri
INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 和 CDG200D 真空计温度分别控制在160 °C 和 200 °C,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。
INFICON 皮拉尼标准真空计 (PSG55x) 与其兄弟产品 PCG55x 和 PSG50x 相似,采用xian jin的数字皮拉尼技术。坚固的传感器设计结合紧凑的外形和众多功能,使其成为从低真空度到高真空度范围测量的理想产品。 皮拉尼真空计系列 PSG550 / PSG552 / PSG554 可直接替代 TTR 911 / TTR 916 系列:
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。
CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。