Bayard-Alpert热电离真空计TrigonTM BAG552对于需要独立热电离计技术的应用，TrigonTM系列包含单 一技术Bayard-Alpert热电离计BAG552。BAG552设计用 于压力范围为5×10-10 ... 2×10-2毫巴。支持的双灯丝提 供了zhuoyue的精度、可重复性和寿命。

新型INFICON皮拉尼压电组合真空计（PPG550）基于先进的MEMS（微机电系统）传感器技术。在MEMS工 艺中小型化的皮拉尼/压电组合技术能够构建非常小且节省空间的传感器。皮拉尼基于MEMS技术，在低真空范 围内比经典皮拉尼测量得更深、更准确。

皮拉尼压电真空计 PPG570新型INFICON皮拉尼压电组合真空计（PPG570）基于先进的MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也 用 于 我 们 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 计 中 。PPG570与PPG550的区别在于额外安装的ATM传感器，该传感器允许在经典的负载锁应用中使用PPG570。

Spot CDS530D 陶瓷电容膜片传感器专为集成到您特定真 空仪器和系统的有限空间而设计。双微型传感器在宽测量 范围内提供高精度，氧化铝陶瓷单元和可焊接不锈钢引线 都涂有氧化铝涂层。传感器电子设备提供数字SPI接口， 便于集成。该传感器具有快速的数据周期时间，可对压力 变化做出即时响应，具有出色的可重复性和长期稳定性。

Spot CDS500D陶瓷电容膜片传感器专为集成到您特定真 空仪器和系统的有限空间而设计。微型传感器具有高精度， 氧化铝陶瓷单元和可焊接不锈钢引线都涂有氧化铝涂层。 传感器电子设备提供数字SPI接口，便于集成。该传感器 具有快速的数据周期时间，可对压力变化做出即时响应， 具有出色的可重复性和长期稳定性。

INFICON之LINXON品牌，LCM025电容膜片真空计