C系列质量流量控制器（MFC）是紧凑且快速响应型，用于非腐蚀性气体，流量从50SCCM至50SLM，范围从满量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模拟和RS485，所需电源电压为24VDC。

GE50A是通用型弹性密封流量控制器，适合流量范围在5SCCM至50SLM的各种气体流量控制。该GE50A控制器采用了的数字流量控制的电子原件及技术的热传感器和机械设计。

1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。

180A ALTATM MKS数字型金属密封流量计

M100B质量流量控制器

2179A质量流量控制器和截止阀