INFICON四极质谱分析仪

CPM INFICON四极质谱分析仪

CPM 的特点

■    用于监测复杂过程的四极气体分析系统.

■    允许7 天24 小时连续监测,达到zui大的产额和产量, 从而将成本降至zui低.

■    足够的小型和性能,可安装在压强很高的真空室内.

■    HexBlock 取样系统的*性能.

■    内置CDG, 用于过程压强监测和真空联锁.

■    备有可选的校准参考源, 用于调谐和气体参.

■    封闭的长寿命离子源可在阻挡大多数腐蚀性和反应性气体的同时,检测亚ppm 量级的污染物.

■ 重量轻,易搬运.

用户*性

INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:

■    测量气相反应;

■    验证真空的完整性;

■    鉴别痕量污染物;

■    测量过程与本底的组分;

■    定性气体纯度.

CPM 良好的适配性

空间是可贵的,我们的CPM占空间小,可灵活安装.为对被分析气体影响zui小和在宽压强范围内快速提供结果,我们开发了多功能的HexBlock 注入口. 为确保zui高的

性能与可靠性, 我们采用已在12,000 台以上Transpector 2 气体分析系统上得到验证的四极传感器.为适应某些复杂应用,如刻蚀和CVD 中存在腐蚀性*的气体, 我们采用化学惰性优等的316 不锈钢加工。

支持

作为半导体市场RGA 产品的者, INFICON 具有发展创新与可靠的,增长产量的监测系统资源,加上应用网络,需要时可随时随地提供专家支持与协助.

CPM INFICON四极质谱分析仪技术特点

1） 带EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留时间下

2 ）质量数40 对41amu 的贡献

3 ）零blast 对2amu 的贡献

4 ）zui小可检浓度,氪在空气中在1-秒停留时间下

5 ）低发射下的线性,在0.1 至2 倍常规小孔压强下

6 ）使用总压强规管在低发射下的压强调值

7 ）低发射下的总压强精度

8 ）低发射下离子源zui大工作压强（灯丝关断阈值）

9 ）在封闭型离子源中2E-4 乇,在四极场范围中将产生约1E-5 乇

10） zui小EM 增益在zui大EM 电压下

尺 寸