EDWARDS干式真空泵

GV80 Edwards干式真空泵

DRYSTAR 80的结构由一级罗茨级及多级反向爪式级组成。泵的入口设置单级罗茨级，后面是三级爪式级，使得低压区的效率更高。反向的第二级爪子设计使得*级爪子的出口与第二级的入口成一直线，实现zui直接zui短的气路。短程、简便和高导气率的气体通道有助于提高真空性能和电能利用，能取得的可凝蒸汽和微粒处理能力。

DRYSTAR 80的三级爪型结构能实现真正的无接触、自阀（有助于轻质气体抽吸）、自清洁（适用于苛刻环境或产生微粒的应用）和优化的内部温度分布（有助于提高蒸汽处理能力）；同时保证泵能从大气压开始连续以额定值运行。

DRYSTAR 80配有轴封吹扫装置（N2或压缩干空气CDA），在泵的扫过容积和油齿轮箱之间形成一个气障，避免工艺气体进入密封，并防止齿轮箱的油进入扫过容积，保证很高的清洁度。在没有压缩气体供应的地方，如果运行压力持续低于133毫巴（100托），且不存在有毒、易燃或腐蚀性气体时，可使用大气密封吹扫包。

Edwards EH/QMB500机械增压泵采用*的液力驱动装置，在泵和电机之间提供高效的流体动力传输。在高压时，泵自动减慢速度，避免泵过热或电机过载。增压泵可以和DRYSTAR 80同时启动，立即开始协助泵的抽气工作。因为不需要压力开关或旁通阀，达到某一特定压力的抽空时间将大大缩短。EH/QMB500具有对操作失误和工艺不稳定的保护功能，空气的突然涌入仅仅使转子速度减慢，而电机仍将以正常运行速度工作。进入固体物质造成转子卡住时，电机也不会过载。

干式真空泵由于没有工作流体混入抽取的气体，从而保证了*的性能。很多成功使用干式泵的人都还没意识到这一点。

机械增压泵是干式泵！使用机械增压泵的人应该知道它的特点（与配合使用的油封前级泵相比）：低维护、高可靠性。前级干泵，比如Drystar 80，和机械增压泵有很多相同的设计，但是与机械增压泵不同，干泵可以直接向大气排气。使用机械前级干泵可取得和机械增压泵一样的可靠性和方便的操作。

DRYSTAR 80和EH/QMB500机械增压泵的相同之处非常多，包括：
  • 密封的布置：保证润滑剂一直都在抽气机制之外（这是保证可靠的干式抽气性能的关键技术）。
  • 两个转轴端部的滚柱轴承：保证zui大的支撑和机械可靠性（轴承寿命决定泵的使用期限。如果按推荐的时间间隔进行润滑，一般要
    5年后才会出现故障 - 以一天运行7小时来计算）。
         - 常规的油位和质量目测
         - 每年更换齿轮箱油*
         - 每年对高真空轴承重上油脂