INFICON薄膜镀层控制仪

IC6 INFICON薄膜镀层控制仪

重复 功能丰富的IC6提供的测量精度

IC6薄膜沉积控制器通过将INFICON薄膜控制器的成熟性能与dute的功能相结合，提供zhuoyue的价值，所有这些都旨在让您从沉积过程中获得最大收益。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，以速率分辨率（每 1/10 秒 0.00433 Å/s）提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量。没有其他石英晶体控制器具有IC6的性能，质量和功能，使您可以实现zhuoyue的可重复性。

功能

• INFICON 模式锁定技术可确保zuiwending、最高分辨率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此

• Auto Z 通过在材料沉积时自动确定 Z 比来提高厚度精度

• 同时对多达六个信号源进行编码

• 彩色 TFT LCD 显示屏可让您轻松查看过程中的进展情况

• +/-0.0035 Hz 超过 100ms 采样

• 用于屏幕截图、配方存储和数据记录的 USB 数据存储

• 强大的 I/O，可灵活地集成到简单或复杂的系统中（使用可扩展的输入 （28） 和输出（24 个继电器，14 个 TTL 输出），并使用逻辑功能（100 个逻辑语句）

• 标配 6 个 DAC 输出，另外 6 个可选，用于源控制、速率或厚度监控

• 可容纳多达 50 个流程，每个流程 200 层，流程可以链接在一起，最多 10，000 层

• 多传感器平均，最多 8 个传感器

• 4 米 XIU 选件能够为大型系统使用长真空传感器电缆

• 可选以太网通信

• 可选的IC6配置编辑器软件（部件号781-620-G1） - 基于LabVIEW®的Windows®软件，允许离线创建和编辑IC6配置文件，并将IC / 5配置文件转换为IC6格式。

• 符合 RoHS 标准

典型应用

• gaoduan光学镀膜