中真空至超高真空单真空计

简要描述：对于需要独立热离子规技术的应用，Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。
BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝，具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

产品型号：Trigon™ BAG552
厂商性质：代理商
更新时间：2025-01-17
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产品分类

详细介绍

品牌	Inficon/英福康	产地	进口
加工定制	否

Trigon™ BAG552中真空至超高真空单真空计

对于需要独立热离子规技术的应用，Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝，具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

优势：

1、纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统，适用于超高压和高压测量范围
2、双灯丝设计
3、电隔离电子设备，避免杂散电流
4、滑动发射模式，避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
5、可移动校准数据芯片，延长了烘烤时间
6、设定点继电器
7、明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
8、模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9、可与 VGC50x 控制器系列配合使用
10、符合 RoHS 规范
典型应用：
1、半导体工艺中的压力测量
2、工业镀膜
3、高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

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