ATM至超高真空双真空计

Trigon™ BPG552ATM 至超高真空双真空计

对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用，Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了精度、可重复性和使用寿命。

VacXplor 是我们的模块化用户软件，旨在增强您使用 INFICON Trigon 真空计的体验。VacXplor 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项，安装时无需管理员权限。

优势：

1、双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间

2、用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝

3、皮拉尼互锁保护，避免灯丝过早烧毁

4、自动高真空皮拉尼调节，减少操作员干预

5、电隔离电子元件，避免杂散电流

6、滑动排放模式，避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象

7、可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间

8、设定点继电器

9、明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

10、模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

11、可与 VGC50x 控制器系列配合使用

12、向后兼容 BPG402

13、符合 RoHS 规范

典型应用：

• 1、半导体工艺中的压力测量

• 2、工业镀膜

• 3、低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制 超高真空范围