真空矩形阀

产品应用

Htc真空矩形阀是采用了直连驱动技术的真空阀，外形尺寸小，设计紧凑，所有动件皆位于大气侧因而与真空侧隔绝，可减少粉尘产生，并提升产品的使用寿命。另外还有无气压时的封合自锁保护，封板快速拆装设计易维修等优点。

设计原理/特征

l   低振动及低粉尘设计(Low vibration and Low particle)

l   利用凸轮机构与弹簧完成封板封合动作。

l   双气压缸、单出力轴驱动。

l   驱动轴杆封合顶紧辅助装置。

l   无气压时的封合自锁保护装置。

l   封板快速拆装设计，方便O-ring维修更换。

l   100 万周期寿命。

真空矩形阀分类

l   标准型矩形闸阀(Standard Rectangular Transfer valves)

l   标准型矩形门型闸阀(Rectangular doors)

l   大型矩形闸阀(Large rectangular transfer valves)

l   大型矩形门型闸阀(Large rectangular doors)

Body 材质

铝合金或不锈钢(Aluminum or Stainless)

Body 表面处理

电解抛光 or 铝硬阳处理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)