在较高压力时(10~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等。
在10~10Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。
在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
真空计的适用压力范围
真空计的名称 | 可测的压力范围(Pa) |
水银压力计(U型管) | 10~10 |
油压力计(U型管) | 10~10 |
油压力计(U型管) | 3*10~1 |
麦克劳真空计(一般型和特殊型) | 10~10 |
弹性变形真空计 | 10~10 |
隔膜真空计(机械式) | 10~10 |
隔膜真空计(电气式) | 10~10 |
电离真空计(三极管型) | 10~10 |
超高真空用B-A型 | 10~10 |
*真空用热阴极磁控计 | 10~10 |
高真空用(舒尔茨型) | 10~10 |
冷阴极真空计 | 1~10 |
皮拉尼真空计 | 10~10 |
热电偶真空计 | 10~10 |
热敏电阻真空计 | 10~10 |
粘性真空计 | 1~10 |
克努曾真空计 | 10-1~10 |