超声波扫描显微镜

超声波扫描显微镜（KSI SAT）

-KSI V300E功能特点-    

•  扫描范围适中：300mm*300mm

•  扫描速度快：2米/秒（加速度30米/平方秒）

•  重复精度高：+/-0.1微米

•  低噪防误判探头：有效去除水花产生的误判

•  X/Y/Z轴驱动系统：直线磁悬浮超高速电机

•  扫描模式：支持点扫描（A-）纵部扫描（B-）横部扫描（C-）多层横剖扫描（X-）等

•  主控软件：Ksi Vision

•  配置选用：检件台定制、透射模组、三维图像分析软件、滤波器等可选

中型单探头超声波显微镜KSI V300E系列（300mm*300mm，+/-0.1um，2m/s）是一款大小合适多用途超扫检测机，其工作原理是利用超声波通过耦合介质（通常是水）传输到样品中。同时声学显微镜的评估单元根据超声波信号的振幅、相位和经过时间进行分析，并从这些信息中创建图像，从而发现元器件材料中的断层、空洞、裂痕、分层等一系列影响产品性能的潜在缺陷。

KSI V300E的超声波对其移动介质的变化和不均匀性反应非常敏感，单探头的设计可以有效去除水波干扰，主动防震动系统能够确保机器不受外界干扰，从而保证检测结果的准确性。由此可见它非常适用于失效分析实验，对制程中的材料质量、工艺控制以及芯片抽检来说，是bi bu ke shao的一环。

-Dophin适用产品-

•  大功率IGBT模块

•  电子元器件

•  塑封集成电路

•  电容铜基器件

•  sic铸锭和衬底

IGBT超扫检测机——Dophin系列是在常规C-SAM基础上升级的全自动检测系统。可以自主完成送料、检测、标识、分类、出料的一整套标准流程，包括DCB板、IGBT器件的空洞、气泡、裂缝、分层等缺陷都能轻松检出，可快速锁定半导体器件失效原因，从而提高产品的质量和可靠性。

日扬科技是一家真空领域整合服务的供应商，帮助客户解决真空难题。我们不仅提供真空阀门、腔体、配件的OEM/ODM服务，还提供粉尘尾气处理（Htc Scrubber）、纳米涂层材料（WEH®）、超声波扫描显微镜（KSI SAT）以及推拉力检测仪（XYZTEC）等产品。致力于做客户真空系统解决方案的全面服务商。