INFICON半导体传感器采用了一系列过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。
随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,弄清楚气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更加重要。无论是在加工过程中进行测量以确保产品安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,或者监测减排系统以减少温室气体的排放,INFICON都是您不错的选择。INFICON提供各种类型的传感器,您可以根据具体应用场景进行定制。
INFICON传感器适用于全半导体制造周期。通过准确测量气体成分,支持早期阶段的研究和开发、前段制程/后段制程生产,以及subfab和全厂范围内的设施性能。应用范围涵盖后端洁净室模具分拣和组装,从而提高过程控制效率和生产力,实现高质量、可靠制造,以及最大生产力和高效率的运行。
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本公司专业代理:1、英福康(Inficon)真空计、检漏仪、四极质谱仪(RGA)、晶控、晶振片;2、LINXON的四极质谱仪(myRGA)、检漏仪(LX218);3、中国台湾日扬的真空蝶阀、角阀、翻板阀、插板阀、定制真空腔体、真空管件;4、安捷伦真空泵、分子泵;5、瑞士福特林(Vogtlin)的流量计。若有需求,请及时联络,谢谢!