氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
氦质谱检漏仪的特点：
1、质谱检测仪的测量精度高，漏失量可以检测到0.1ppm，检测灵敏度高；
2、可测量各种有毒、无毒、稀有气体，如氦气、氢气和氩气等；
3、质谱检测仪的检测效率高，可以在短时间内完成检测；
4、质谱检测仪的检测成本低，检测费用低廉，可以实现高效检测；
5、质谱检测仪的检测环境要求低，能够在常温常压下进行检测；
6、质谱检测仪的操作简单，一般人都能够掌握操作方法，而且操作方便快捷；
7、质谱检测仪的维修保养简单，只需要定期更换部件，就可以保持其良好的检测性能。
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里*一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
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