真空检漏的工作条件

真空自耗电弧炉是目前世界上熔炼钛、锆等稀有金属的主要设备，由于其在真空下能有效的降低金属及其合金中的气体含量，更准确的控制化学成分，改善铸锭的质量等优势，因而被广泛应用。

 

 

①检漏仪要工作必须使检漏仪内部真空系统正常工作，因此检漏仪机械泵8、分子泵1 和电磁阀V1 串联工作，达到质谱室所需要的高真空，满足离子源可靠工作时即达到检漏仪工作条件，即我们所说的自检通过。

 

②满足检漏口14 达到1000 Pa 以下，由于真空自耗电弧炉容积约2~3m3，因此无法使用检漏仪自身的真空泵进行炉室抽空，必须使用电弧炉的真空系统作为检漏仪的辅助系统对其抽空，从而满足检漏口1000 Pa 以下的使用要求。