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阐述真空规管的使用操作
阐述真空规管的使用操作
更新时间:2018-09-19 点击次数:2015
真空规管
一般是装在真空镀膜室的位置,是指电离规管,玻璃管端部用老虎钳夹破一点,插进真空室密封好,必须大气状态完成。(还有电阻规它是测粗真空的,这种没有规管,就一个传感器)用来监测真空度的,,电离规开启一般是有要求的,当压强到3PA以下才开真空,可设置压强参数,到了会自动开,过早开会氧化电离规,导致烧坏
真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。
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