MKS质量流量控制器的详细介绍

MKS质量流量控制器是应用于多用途的大流量流量控制，涵盖了从20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A*的控制阀门消除了运行中的振动和提供了更快的响应时间。通过平衡力阀门的设计可以自动中和在控制阀门内产生的管线压力所导致的不平衡。  

快速的启动，快速的响应时间和1%的测量精度（氮气）这些特点在减少设备的停顿时间和保证正确的气体流量到工艺腔体内都是很重要的。

MKS质量流量控制器有杰出的RFI（射频干扰）保护能力，在阀门控制信号小于全量程的0.2%时有一个噪音的安全防护，MKS同样提供了一个可全面兼容的、独立的电源/读数单元，包括246C、247D和647C。 

MKS质量流量控制器只是显示流量的流量计，558可输出0-5VDC的线性信号，涵盖了和1559A相同的量程。同样，阀门的可用型号就是154A（1559A的阀门部分）