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加热型薄膜规的七大优点
加热型薄膜规的七大优点
更新时间:2016-09-26 点击次数:1744
加热型薄膜规
压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系,通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
1、零飘极小0.1%FS/年(干净真空环境)
2、更高的精度
3、环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响
4、比工艺更快的预热启动时间’
5、快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV
6、任意安装角度
7、抗污染,可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
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