皮拉尼真空计是一种用于测量低气压(中等真空范围)的设备,它基于皮拉尼原理,即气体的热导率与其压力有关。这种真空计广泛应用于实验室、工业和科研领域,用于监测和控制真空系统中的压力。
皮拉尼真空计的核心部件是一个加热丝,通常由铂或其他贵金属制成。当加热丝通电加热时,其温度会上升。在真空环境中,加热丝周围的气体分子数量取决于压力的大小。高压力下,气体分子数量多,热量通过气体传导散热快,加热丝的温度较低;低压力下,气体分子数量少,热量散失慢,加热丝的温度较高。
通过测量加热丝的电阻(与温度相关),可以间接测量气体的压力。因为加热丝的电阻随温度变化而变化,而温度又与周围气体的压力有关。因此,通过精确测量加热丝的电阻,就可以得到气体的压力。
产品特点
测量范围:适用于大约10^-2到10^2毫巴(mbar)的压力范围,机械真空计和热电偶真空计之间的测量空白。
非侵入性测量:通过测量热量损失来工作的,它不会对真空系统产生任何侵入性影响。
稳定性和重复性:具有良好的稳定性和重复性,确保长时间内可靠地监测真空压力。
温度补偿:通常内置温度补偿机制,自动调整环境温度变化,确保准确测量。
易于安装和使用:设计紧凑,易于安装在各种真空系统上,且操作简单。
与控制器兼容:它们通常可以与各种真空控制器配合使用,实现自动化控制真空系统的压力。
广泛适用性:可用于各种气体,不限于空气,扩展了其在不同应用中的适用性。
应用领域
皮拉尼真空计的应用非常广泛,包括但不限于:
半导体制造:在芯片生产过程中监控真空环境。
薄膜沉积:用于薄膜生长过程中的真空度监控。
真空干燥:在食品和药品的真空干燥过程中控制压力。
科研实验:在物理、化学、生物等科研实验中维持特定的真空条件。
空间环境模拟:用于航天器的真空环境测试。
真空冶金:在特殊金属的处理过程中控制真空环境。
注意事项
使用时,需要注意以下几点:
校准:定期进行校准,以确保测量精度。
环境温度:避免在温度波动大的环境中使用,或者选择具有温度补偿功能的型号。
气体成分:可用于多种气体,但不同气体的热导率不同,可能需要根据气体成分调整读数。
清洁维护:保持加热丝的清洁,避免灰尘和油脂积累,这可能影响其性能。