LX218 和 UL1000Fab 主要参数的对比表

He 最小可检测泄漏率

＜5E-13Pa m3/s (1)

＜5E-12 mbar l/s (1)；＜5E-8 mbar l/s (2)

离子源

两根长寿命铱丝，带氧化钇涂层（三年质保）

两根带氧化钇涂层的铱灯丝

检测方法

真空式和嗅探式泄漏检测法

真空和吸枪模式

可检测气体

He4，He3，H2

He4，He3，H2

内部 He 测试泄漏

1E-8Pa m3/s

1E-7 mbar l/s

泄漏率显示

1E-13—0.1 Pa m3/s

0.1 mbar l/s

运行预备时间

3 min

＜3 min

响应时间

0.5 s

＜2 s

抽速：适用于 He

2.5 l /s

最大 8 L/s(粗检）、7 L/s(精检）、2.5 l /s (超精检模式）

连接法兰

DN 25 ISO-KF

25 KF

最大进气压力

25 mbar

15 mbar(粗检），2 mbar(精检）、0.4 mbar(超精检）

环境温度

运行时 10 到 35℃

运行时 10 到 40℃

接口

RS-232-C，RS-485

RS-232

输出：模拟量

泄漏率信号 2 x 0-10V，线性/对数

2 x 0-10V

输出：数字量

准备开始、准备测量、泄漏、错误、局部流量阀

兼容 PLC，用于控制和状态信息

电源

单 相 230VAC，50HZ

电源 230VAC，50HZ

泵组

双极油旋片泵或者隔膜干泵配合分子泵

带耐用的涡旋泵和多进气口涡轮分子泵的智能真空泵组

(1): 根据AVS 2.1

(1): 真空模式。(2): 吸枪模式