科技名词定义
中文名称:真空镀膜 英文名称:vacuum deposition 定义:在真空条件下,对光学零件镀膜的工艺过程。 所属学科:机械工程(一级学科);光学仪器(二级学科);光学仪器一般名词(三级学科) 本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布
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真空镀膜一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜.
真空镀膜安全操作规程展开 简介
真空镀膜 在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。