拥有一颗蓝宝石的“玻璃心” ——安捷伦精密微调阀

拥有一颗蓝宝石的“玻璃心"

——安捷伦精密微调阀

安捷伦精密微调阀，用于精密控制微小的流量（或泄漏率），以调节系统真空度或满足其它非常特殊的工艺需求。

安捷伦蓝宝石密封精密微调阀最小可控制 1E-10 mbarl/s (std cc/s, sccs) 的微小流量，可用于压力低至 1E-11 mbar 的超高真空环境，并且可以耐受高达 450℃ 的高温烘烤。                         

该微调阀内部有一块具有光学级平面的蓝宝石（Sapphire），和一套精密的位置调整机构。位置调整机构由一个精密细牙螺杆和一个高倍率杠杆机构组成，该机构的省力倍数高达13000:1，可以非常精密的调整蓝宝石的平面和与其相配合的金属垫片之间的距离，从而调整通过他们之间的流量，或者形成*无摩擦、无咬合和无断裂的密封。

阀门内部的蓝宝石和与其相配合的金属垫片之间紧密贴合之后，阀门就处于关闭状态。已经处于关闭状态的阀门不可以再继续拧紧，否则会造成螺纹或者蓝宝石阀头损坏。为了避免此类现象发生，阀门在出厂时已经设置好了停止位置，即两个圆螺母（NOBS）已经锁紧在调整螺杆（FINE DRIVE SCREW）的某一点上，使得阀门在关闭后无法再继续拧紧。使用时请捏住两个螺母一起转动（顺时针流量减小，逆时针流量增大），不要随意将它们松开或调整位置。

若阀门使用一段时间后出现拧到最紧后仍然无法密封，或者想把停止位置设定为某一个固定的流量（漏率），可以参考使用说明书，并按照说明书中描述的步骤进行调整。

微调阀的调整螺纹为精密细牙螺纹，大力旋转或者螺纹处润滑不良时会造成螺纹损坏，请小心调整并定期涂抹附送的润滑脂。该润滑脂为可以耐受烘烤的高温润滑脂，请勿用其它润滑脂替代。

当需要对关闭状态的阀门进行烘烤时，有可能需要重新设置停止位置（请参见说明书“烘烤程序"一节）。

当微调阀的流量低于 1E-9 mbarl/s 时，可凝蒸气和污染物有可能会堵塞阀内的微小间隙。对此类应用，微调阀必须在开启状态下真空烘烤至 250° 并保持30分钟，以去除内部吸收的可凝蒸气。

对于 4E-10 mbarl/s 以及更低的流量，除上述烘烤外，通过微调阀的气体必须不含可凝性蒸气，或者通过干燥装置（比如液氮冷阱）对进气进行处理后再接入微调阀。分子筛捕集阱也可用于干燥气体，但必须使用过滤器以确保没有筛子颗粒进入微调阀。

环境温度的变化会引起流量（泄漏率）的变化（温度升高时，泄漏率增加），如果泄漏率的变化对您正在进行的实验来说是不可接受的，就应该使用一些温度控制的手段——将阀门加热并将其温度维持在略高于最高室温的某个值。

编者：深圳市科锐诗汀科技有限公司真空技术中心