带你走进真空知识世界(一)
中国台湾日扬CF300 Gasket垫片,可耐温度是多少?是否可以用于液态氮的制程环境呢?
CF300 gasket 材质为无氧铜,可耐温度为-200℃~450℃。液态氮温度约为-196℃,如果液氮管路直接与法兰接触,低温会传导至Gasket使其热胀冷缩产生形变,有泄漏的风险。因此可以设计双层管的装置来避免这个问题,如下图所示。
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作者:深圳市科锐诗汀科技有限公司真空技术中心