INFICON皮拉尼真空计的特点概要

INFICON皮拉尼真空计的特点概要

一、 两种类型的皮拉尼规

1、 稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）

2、 稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）

二、 皮拉尼真空计具体型号

· PSG050/051

· PSG100-S   PSG101-S

· PSG500/500-S   PSG502

· 皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400  PCG410  PCG550

1）有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

2）两种原理的规管全过程都工作

3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号

4）1 mbar– 100mbar 两规信号同时采用

5）5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号

6）输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃

三、皮拉尼真空计应用行业

1）各种高真空泵的前级压力测量，如光伏、镀膜、等离子行业

2） 各种中低真空测量，如照明，冶金

3）真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG100

4） PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216

5）PCG400/PCG410现在已升级为PCG550（PCG400/PCG410已经停产），与PSG500 基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用 

6）PSG100/ PSG101，与PSG500/PSG050基本相同，但前者具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛  

（版权声明：文章部分内容摘录自友商网络文章《真空计种类这么多，如何选择才最好？》，在此致谢，如有不当请联系删除。）