真空泵的问与答

1、Q：真空泵有什么用？

  A：真空泵的作用就是从真空腔体中抽除气体分子，降低真空腔体内的气体压力，使之达到要求的真空度。

2、Q：每个腔体选择一种真空泵就行了吗？

   A：从大气到*真空有一个很大的范围，至今为止还没有一 种真空泵能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置，科锐诗汀可以提供的真空泵就包括：前级泵（各种旋片泵，干泵）、维持泵（罗茨泵）、扩散泵、分子泵、离子泵等等全系列。

 3、Q：选择真空泵时要注意哪些参数？

    A: a、工作真空范围: 首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。 

b、确定极限真空度：系统的极限真空度决定了系统的佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。 

c、被抽气体种类与抽气量：如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。 

d、真空容积：同时确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。 

e、抽气速率：考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

4、Q：真空泵的选型需要注意些什么？

A: 选用真空泵时需要注意以下事项：  

1. 真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10^-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10^-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2. 正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10^-3~10^-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10^-4~5×10^-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10^-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10^-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10^-5mmHg为好。
3.  真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4. 正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵（例如科锐诗汀代理的普发分子泵）不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5. 真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种干泵，还有水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
6. 了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
7. 真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选干泵，或者把油蒸气排到室外。
8. 真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

真空泵的价格、运转及维修费用。科锐诗汀将为客户提供性价比高的选择。
 

深圳市科锐诗汀科技有限公司代理以下真空泵产品：

    1、美国安捷伦（Agilent Technologies)的旋片泵、干泵、罗茨泵、分子泵、分子泵机组、扩散泵、离子泵。
    2、德国普发（PFEIFFER）的旋片泵、隔膜泵、螺杆泵、泵组、罗茨泵、分子泵、分子泵机组。

    3、英国爱德华（EDWARDS）真空泵

    4、德国莱宝（LEYBOLD）真空泵

    5、日本阿耐思特岩田干泵（ISP-50、ISO-90、ISP-250C、ISP500C、ISPC-1000）