MKS公司eliteTM 射频电源用途及特点

eliteTM 等离子电源应用：等离子蚀刻、化学气相沉积和喷镀应用的稳定耐用性射频电源。凭借的功率控制和数字化接口，eliteTM 电源有着现在等离子工艺所要求的稳定性和重复性。

eliteTM 等离子电源特点：在13.56MHz工作频率上，eliteTM 平台由基于50Ω负载的300W，600W及750W产品组成。数字控制模块自动量测射频输出功率和发射功率，确保功率输出在1至300,600或760瓦时，有稳定实际功率输出，其偏差在设定值的±2%内。可输出高达1kHz脉冲射频，工作比范围为1至99%

的功率校准按照基于NIST的ENI 电源标准完成的。低谐波畸变和无虚假性能强化了该单元的射频功率输出控制和的射频稳定性。一个坚固耐用的射频电源可以保证输出到固定匹配器的实际功率。数字控制可以不间断的侦测内部子系统的状态来实现系统的效益。