电容膜片真空计的来源及性能介绍

更新时间：2014-03-04 点击次数：2932

真空计是高精度总压强测量和控制的*选择。为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能，将CDG100D真空计的温度控制于100度。全量程范围从100毫乇至1000乇，配有全部常用的法兰型式和Fieldbus接口，和提供线性的0至10伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好，从大气压恢复快，预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量，成本效益好的压强传感器，用于半导体，等离子和各项要求高的真空应用中。

根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管又称为电容式压力传感器和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构

科锐诗汀电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点。如一键调零功能和设点调整。抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。*的传感器屏蔽（技术）保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性，长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。

电容膜片真空计*性：的满量程稳定性 – 与气体类型无关；抗腐蚀的氧化铝传感器；超小型, 同类产品中尺寸zui小；易集成, 任何方位安装；数字讯号处理；无需维护。电容膜片真空计用途：真空镀膜；真空监测；消毒灭菌；食品和包装；真空炉, 拉晶器；分析；化学真空过程。