简述质量流量控制器是如何一步一步演变为今天这个状态的

 

    质量流量控制器应用领域：半导体制造行业的气体流量控制；分析仪器设备的气体计量与控制；各种形式的真空镀膜设备；环境检测与分析设备 ；化工、石化、食品行业气体流量监测和控制；特种材料表面处理装置与燃烧控制；混气配气系统和泄漏探测系统等。

 

    流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。MKS质量流量控制器以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。

 

    质量流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。