英福康残余气体分析仪（RGA）在半导体制程中的重要性浅析第一、12英寸晶圆的市场需求趋势明显，要持续保证产品的高良率、保障真空环境的洁净度以及在线同步侦测真空室就显得非常之重要，这就必须要选择INFICON的具有高灵敏度的残余气体分析仪（RGA）。第二、由于晶圆产品尺寸越做越小，对真空制程室内的洁净度要求也就越来越高。这其中，对真空要求严格的制程为金属物理沉积，其真空全压力必须达到1x10-8Torr左右，才能大幅降低背景水气及氧气对溅镀金属层电阻性的影响。而对于沉积晶粒大小...

PECVD：等离子体增强化学气相沉积，指借助微波或者射频波使腔室内的反应气体分子电离，形成的高化学活性等离子体在基片表面发生化学反应，沉积成膜。PECVD根据等离子发射源的动作情况可分为动态和静态。根据设备结构可分为链式、团簇式和U型。根据射频频率的不同可分为RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz）HJT设备：导质结电池设备PVD：物理气相沉积（(PhysicalVapourDeposition)，表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源...

所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规，一般前级真空一个，本底和工艺监控各一个，如果进口的真空计，皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等，中国的真空设备厂家中，使用广泛的进口真空测量产品是深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康（INFICON）的真空计及控制器。但是困扰使用者的一个问题是英福康（INFICON）的真空计及控制器种类繁多，型号规格貌似没有规律，很难记忆，今天我们就尝试着解开这个困扰。真空计从原理上划分很多种类，还有一些复合真空计，从大类上就可以分十几种，加上测量宽度和精度的...

关于检漏，关乎民用和工业用，小到自来水漏水大到我们的宇航舱漏气，有些地方感觉微乎其微，有些地方且性命攸关。随着真空环境的应用不断扩大，越来越多的用户关于检漏的问题，如何检，用什么检？首先我们要知道漏怎么来数据化，漏率的单位就出来了，漏率是指在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。在分子流状态下，漏率是压差的一次方函数；在粘滞流状态下，漏率是压力二次方差的函数。在已知容腔传热系数的情况下，利用测得的压力数据进行实际泄漏量的计算可消除由于温度变化...

双极旋片真空泵的问与答1、Q：双极旋片真空泵可以应用到哪些行业？A：深圳市科锐诗汀科技有限公司代理的旋片泵可广泛应用于太阳能、光学、薄膜、冶炼、铸造、热处理、手机、半导体、建材、微电子、平板显示、Low-E玻璃、装饰品等行业，在PVD、CVD、MBE、电厂凝气器、油脂精炼系统、锂电池干燥系统、直接蒸发系统、化工蒸发、蒸馏、浓缩系统、原料药三合一干燥系统、食品脱水系统、冶金工业、钢包脱气、航天模拟实验、包装等行业中体现了明显优势。2、Q：我要抽到100Pa（1mbar），可以选...

真空泵的问与答（二）1、Q：真空泵可以应用到哪些行业？A：真空泵广泛应用于太阳能、光学、薄膜、冶炼、铸造、热处理、手机、半导体、建材、微电子、平板显示、Low-E玻璃、装饰品等行业、尤其在电厂凝气器、油脂精炼系统、锂电池干燥系统、直接蒸发系统、化工蒸发、蒸馏、浓缩系统、原料药三合一干燥系统、食品脱水系统、冶金工业、钢包脱气、航天模拟实验、包装等行业中体现了明显优势。2、Q：旋片泵有什么特点？A：旋片式真空泵通常有单级和双极二种，是市场上使用广泛的真空泵之一。其结构主要有定子，...

INFICON高压热电离Pirani真空计HPG400将高压热电离技术与Pirani传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量2×10-6mbar至大气气压（1.5×10-6Torr至大气气压）范围内的压力。HPG400提供高可重复性和再现性压力测量，实现精确控制镀溅过程压力。好处HPG400可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性高压热电离可以准确可靠地测量1X10-5至1mbar范围内的压力，进而改善过程控制用户可选的热电离发射在5X10-2至1mbar...

INFICONBayard-AlpertPirani电容式隔膜真空计(Triple-Gauge™)BCG450将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从5×10-10至1500mbar（3.75×10-10至1125Torr）的过程压力和基本压。BCG450的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流Prani和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。特点BCG450可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性压力超过10To...

INFICONCDG020D真空计的介绍与优点是一种高质量、高成本效益、不受气体类型限制的绝压传感器。Porter设计用于在工业环境中获得稳定的长期性能。陶瓷传感器能长期提供出色的量程稳定性，免维护运行且具有不同凡响的零位稳定性。防腐蚀单一材料传感器架构可保证出色的温度补偿。全数字电子元件和小巧的外形注定它能够灵活地用于任何集成。Porter真空计简单可靠，始终保持可用且物有所值。INFICONCDG020D真空计优点的跨度稳定性-独立于气体类型防腐蚀氧化铝传感器紧凑型，同级...

PEG100真空计的优点：1）宽阔的测量范围。2）全金属冷阴极传感器（潘宁）采用陶瓷馈入件。3）程序的电极形状提供优良的点燃性能。4）等离子点燃后降低的高压和钛阴极板减少污染的危险，即使在有氩气的溅射运行中。5）阳极环和钛阴极易于清洗和更换。6）真空计邻近zui小的磁场强度。7）LED指示灯用于指示电源ON和等离子点燃。8）对数模似输出讯号。9）Fieldbus接口（ProfibusDB,DeviceNet）易集成于使用网络通讯的真空系统中。

真空应用真空科学是一门基础科学和应用科学紧密结合的现代基础学科，主要研究对象是真空环境的结构和性质以及在这种环境中物质的相互作用、在不同真空度的低气压环境中，真空环境和各种物质发生相互作用，产生不同的效应。例如真空吸力、真空隔热和散热、真空蒸馏、真空防氧化、真空干燥、真空绝缘、真空脱气、保鲜、清洁、灭菌、检漏、稀薄气体放电、宇宙真空效应等都和该学科研究的主题有关．这些科学和技术知识已广泛用于电子、半导体、集成电路、冶金、食品、医药、运输、热处理、焊接、铸造、镀膜、检测、离子束...

有关膜厚仪（晶控）的问答1，膜厚仪（晶控）如何选型？答：这个问题很复杂，以深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康膜厚仪为例：如果仅仅需要监测厚度，可选用SQM-160，STM-2XM，STM-3，STM-2。如果既要检测，又要控制膜厚，可选用Cygnus2，IC6，SQC-310，XTC/3，IQM-233。如果需要将膜厚的测控集成到自己的系统中去，可选用IQM-233。如果在意精度，那么精度高的是Cygnus2，其膜厚和速度分辨率达到±0.0043Å，其后依次为IC6...